高精密模具配件在工作中除了要求具有足夠高的強度和韌性外，其表面性能對高精密模具配件的工作性能和使用壽命至關重要。這些性能的改善，單純依賴基體材料的改進和提高是非常有限的，也是不經濟的，而通過表面處理技術，往往可以收到事半功倍的效果，這也正是表面處理技術得到迅速發展的原因。模具拋光技術是模具表面工程中的重要組成部分，是模具制造過程中后處理的重要工藝。由于國內拋光工藝技術及材料等方面還存在一定問題，所以如傻瓜相機鏡頭注塑模、CD、VCD光盤及工具透明度要求高的注塑模仍有很大一部分依賴進口。
鏡面模具材料不單是化學成分問題，更主要的是冶煉時要求采用真空脫氣、氬氣保護鑄錠、垂直連鑄連軋、柔鍛等一系列先進工藝，使鏡面模具鋼具內部缺陷少、雜質粒度細、彌散程度高、金屬晶粒度細、均勻度好等一系列優點，以達到拋光至鏡面的模具鋼的要求。模具配件的表面處理技術，是通過表面涂覆、表面改性或復合處理技術，改變高精密模具配件表面的形態、化學成分、組織結構和應力狀態，以獲得所需表面性能的系統工程。滲氮工藝有氣體滲氮、離子滲氮、液體滲氮等方式，每一種滲氮方式中，都有若干種滲氮技術，可以適應不同鋼種不同工件的要求。從表面處理的方式上，又可分為：化學方法、物理方法、物理化學方法和機械方法。
值得注意的是，模具表面拋光不單受拋光設備和工藝技術的影響，還受模具材料鏡面度的影響，這一點還沒有引起足夠的重視，也就是說，拋光本身受模具材料的制約。雖然旨在提高精密模具配件表面性能的新處理技術不斷涌現，但在高精密模具配件制造中應用較多的主要是滲氮、滲碳和硬化膜沉積。由于滲氮技術可形成優良性能的表面，并且滲氮工藝與高精密模具配件鋼的淬火工藝有良好的協調性，同時滲氮溫度低，滲氮后不需激烈冷卻，高精密模具配件的變形極小，因此高精密模具配件的表面強化是采用滲氮技術較早，也是應用最廣泛的。